EQUIPMENT(研究機器)
| 電子顕微鏡 | 原子間力顕微鏡 | 光学顕微鏡,実体顕微鏡 | 製膜装置 | その場力学試験装置 | 3Dプリンタ関連 | 引張試験機関連 | 電気測定装置関連 | 恒温槽,恒湿槽 | 試験片洗浄機器 | 位置決め装置 |
透過型電子顕微鏡(TEM),走査型電子顕微鏡(SEM)
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TEM(日本電子製JEM-2100) |
・TEM用カメラ:EMSIS製MegaView G3 |
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SEM(Hitachi High-Tech製SU3900) ・真空計:キヤノンアネルバ製M601GC ・ビームブランキング装置:DEBEN製PCD BEAM BLANKER ・ピコアンメータ:KEITHLEY製6485 |
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SEM・集束イオンビーム複合装置 (Thermo Fisher Scientific製Scios 2) ・ガスインジェクション装置:Thermo Fisher Scientific製ガスインジェクションシステム(Pt) ・検出器:Thermo Fisher Scientific製T3検出器 ・アダプタ:ユニソク製力学試験装置取り付け用フィードスルー ・デコンタミネータ:Xei Scientific製Evactron E50 |
原子間力顕微鏡(AFM)
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AFM(Hitachi High-Tech製AFM5300E) ・100 Vバイアス:Hitachi High-Tech製E-BIAS Ⅱ |
光学顕微鏡,実体顕微鏡
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デジタルマイクロスコープ(HiROX製KH-8700) |
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実体顕微鏡 | デジタル顕微鏡 |
(Nikon製SMZ745T) | (Nikon製SMZ745T) |
製膜装置
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マグネトロンスパッタリング装置(エイコ―製) |
その場観察力学試験装置,TEM試料ホルダ
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SEM用二軸微小負荷装置 | SEM用微小負荷装置 |
(ユニソク製) | (ユニソク製) |
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SEM用微小負荷装置 | SEM用引張試験装置 |
(Bruker製Hysitron PI-80 Picoindenter) | (DEBEN製MT200) |
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TEM用微小負荷装置 | TEM用試料2軸傾斜ホルダ |
(Bruker製Hysitron PI-95 Picoindenter) | (日本電子製EM-31631STH) |
3Dプリンタ関連
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デスクトップ3Dプリンタ | フィラメント乾燥機 |
(Raise 3D Technologies製E2) | (EIBOS 3D製Filament Dryer CYCLOPES) |
引張試験機関連
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卓上型引張圧縮試験機 | 動ひずみアンプ |
(エー・アンド・デイ製 MCT-1150) | (共和電業製DPM-951a) |
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微小荷重用ロードセル | |
(共和電業製LTS-50GA) |
電気測定装置関連
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デジタルロックインアンプ | 低雑音プリアンプ |
(NF回路設計製LI5660) | (NF回路設計CA5360) |
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ストレージオシロスコープ | 波形発生器 |
(AS ONE製DSO3050E) | (AS ONE製AWG1005) |
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マルチメータ | |
(Keysight Technologies製34461A) |
恒温槽,恒湿槽
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ベルジャー型バキュームオーブン | 小型プログラム電気炉 |
(柴田科学製BV-001) | (AS ONE製ROP-001H) |
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恒湿槽 | |
(トーリ・ハン製WET-82) |
試験片洗浄機器
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超音波洗浄器 | 小型卓上UVオゾン洗浄装置 |
(AS ONE製VS-100Ⅲ) | (あすみ技研製ASM401N) |
位置決め装置
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ナノポジショニング ピエゾ コントローラ |
(Physik Instrumente製E-625 Piezo Servo Controller) |